アジア向けやカスタム対応を強化多品種少量向けの微細化も模索

摘要

キヤノンの露光装置事業，特に，半導rn体用の露光装置は，これまで国内向けがrn強く，アジア向けが弱かった。この構造rnを変えて，2010年以降は，アジアへのrn展開に注力していく。rn半導体用の露光装置では，他社よりrnも強い分野をさらに強化していく。競合rn他社に対して競争力の高い既存のi線やrnKrF露光装置の新たな用途では，3次元rnLSI向けやMEMS向けとして，アジアをrn中心に拡販していく。また，ArF液浸露rn光では，価格を10億円台に下げても利rn益が出せる装置開発など，従来にない構rn想が必要になったように感じている。