5人死亡の三菱マテリアルの爆発事故経驗頼みの洗浄作業の規定に甘さか

摘要

2014年1月9日14時過ぎ、5人が死亡、12人が重軽傷を負う痛ましい爆発，火災事故が発生した(図1)。事故があつたのは、三菱マテリアル四日市工場（三重県四日市市）の第1プラント。多結晶シリコンの製造設備にある熱交換器の解体·洗浄作業中の出来事だった。同工場では、半導体シリコンウエハーの原料として多結晶シリコンを製造している。多結晶シリコンは、金属ケイ素おりの粉体と塩化水素を反応させてシランガス（トリクロロシラン）を生成し、それを蒸留して不純物を除去した後に高温環境下で水素還元することで製造する。