鉛フリーの高性能圧電材料リコーが電極材料と共に開発

摘要

リコーは、チタン酸ジルコン鉛（PbZrO_3-PbTiO_3：PZT）に匹敵する分極特性を備えた鉛（Pb）を利用しない圧電材料と、その高品質結晶を電極などと共にSi基板上にゾルゲル法で形成する技術を開発したと発表した。PZTはアクチュエータなど多くの圧電素子に用いられている材料である。しかし、Pbを用いることから、多くのメーカーがPbを利用しない代替材料の開発に取り組んでいる。今回リコーが開発した「BaTiO_3-BaSnO_3:BSnT」は、チタン酸バリウム（BaTiO_3）にスズ（Sn）を一定量津加したもの。