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机译:垂直静电梳状驱动器的V形光束悬挂的共振扫描微镜的设计与制造
机译:垂直静电梳状驱动器的V型光束悬挂的共振扫描微镜的设计与制造
机译:用于扫描微镜的垂直静电梳状驱动器的建模
机译:具有电热控制可变偏移的角垂直梳状驱动扫描微镜的动态特性
机译:自对准垂直静电梳状驱动器,用于扫描微镜
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:高力密度鱼骨形静电梳状驱动微执行器的建模
机译:用于扫描微镜的角度垂直梳状驱动器的理论和实验
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。