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机译:纳米级间隙可改善RF-MEMS谐振器的电容转换
Departament d'Enginyeria Electronica, ETSE, Universitat Autonoma de Barcelona, Edifici Q, Campus Bellaterra, 08193 Bellaterra, Spain;
resonant RF-MEMS; capacitive readout;
机译:具有自对准低于100nm转换间隙的高Q单晶硅HARPSS电容性光束谐振器
机译:通过非对称结构设计提高RF-MEMS电容开关的性能
机译:利用纳米石英间隙润滑的微型石英谐振器精确控制间隙以测量法向力的新方法
机译:具有SUB-100纳米垂直电容间隙的基于SOI的HF和VHF单晶硅谐振器
机译:高Q强耦合电容间隙转导的RF微机械谐振器
机译:具有纳米级间隙的开环谐振器中的巨大电场增强
机译:用于航天重力参考传感器的毫米级感测间隙上的纳米精度的电容式测试质量感测