...
机译:使用光刻技术构建22 nm节点6T-SRAM单元的挑战
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
SRAM scaling; 22 nm node; litho-friendly circuit layout; patterning; immersion lithography;
机译:光学光刻技术如何印刷32 nm节点6T-SRAM单元
机译:SOI finFET制造的干蚀刻鳍工艺:在6T-SRAM单元上从32 nm节点过渡到22 nm节点
机译:基于22 nm FinFET的6T-SRAM单元设计,具有按比例缩放的电源电压,以增加读取访问时间
机译:使用全场EUV光刻技术对(Sub-)22nm节点单图案技术演示规模为0.099µm 2 sup>的FinFET 6T-SRAM单元
机译:22nm过程节点中不同SRAM变化的调查
机译:22 nm分辨率的无掩模等离子光刻
机译:用于45nm节点的水浸光学光刻