机译:Talbot效应光刻在二维图形上的焦点位置和深度
Center for Semiconductor Research and Development, Toshiba Corporation, 1, Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki, Kanagawa 212-8583, Japan;
Talbot effect; Lithography; Simulation; Focus; Hexagonal;
机译:大型自由站立周期特征的Talbot光刻的焦深确定
机译:具有纳米环面罩的消色差Talbot光刻,用于高通量周期性图案
机译:在瑞士光源和上海同步辐射装置上使用EUV消色差Talbot光刻对纳米点阵列进行图案化
机译:评估EUV光刻中用于散焦的图案位置偏移
机译:光刻技术中聚焦深度的提高。
机译:子宫颈细胞核二维光散射图谱绘制不同上皮深度发育异常变化的数值研究
机译:置换Talbot光刻纳米图案微筛阵列用于片上脑中定向神经元网络的形成
机译:在设备和电路制造中融合聚焦离子束图案和光刻技术