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机译:具有双向倾斜-活塞微镜阵列的空间光相位调制器-第二部分:制造和实验
Fujitsu Laboratories Ltd., Kawasaki, Japan;
Indium tin oxide (ITO) electrode; optical beam shaping; optical microelectromechanical systems (MEMS); silicon-on-insulator (SOI); spatial light phase modulator (SLPM);
机译:双向倾斜-活塞微镜阵列的空间光相位调制器-第一部分:原理和设计
机译:用于快速空间光调制器的大像素数活塞尖端倾斜反射镜阵列的灵活制造
机译:用于光学相控阵应用的倾斜活塞微镜阵列
机译:具有双向倾斜活塞微镜阵列的空间光相位调制器的光束整形
机译:用于超短光脉冲整形的微镜阵列相位调制器。
机译:电可重构微镜阵列用于在带宽超过1 THz的太赫兹波上进行直接空间光调制
机译:具有尖端,倾斜和活塞控制的超平面微镜阵列