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机译:微机械加工的硅热风传感器的温度效应建模
Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China;
Anemometer; temperature compensation; temperature compensation.; thermal wind sensors;
机译:环境湿度对微机械硅热风传感器的影响
机译:绝缘沟槽对微机械硅热风传感器的影响
机译:DRIE沟槽和全桥用于提高二维微机械加工的硅热风传感器的灵敏度
机译:基于单矢量系统的风洞力平衡的热压特性实验设计与分析方法,用于高超声速风洞研究中的压力和温度效应模型
机译:用于高温MEMS传感器的4H和6H碳化硅晶片的脉冲激光烧蚀和微加工。
机译:温度对二维固体热风传感器风向测量的影响
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机译:硅微机械热剪切应力传感器的表征