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机译:基于微机械悬臂的压差流量传感器的设计和流固耦合分析
State Key Lab. for Manuf. Syst. Eng., Xi'an Jiaotong Univ., Xi'an, China;
cantilevers; elasticity; flow sensors; micromachining; microsensors; numerical analysis; pressure sensors; ANSYS; FLUENT; calibration; elastic mechanics; fluid-structure interaction analysis; hydromechanics; micromachined cantilever-based differential pressure flow sensor; numerical analysis;
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