基于激光多普勒技术的微悬臂梁机械特性的测量

摘要

介绍了一种微悬臂梁离面运动测试系统.结合显微激光多普勒技术,分析了用于间接测量微悬臂梁机械特性的方法,采用虚拟仪器技术建立控制系统,编辑器件激励和数据采集、处理软件,实现了对微悬臂梁的动态特性和杨氏模量、弹性系数等机械特性的测量.最后利用该测试系统对矩形、三角形微悬臂梁杨氏模量进行了实验研究,并计算了两种微悬臂梁的弹性系数.经实验证明,用该方法测量悬臂梁机械特性得到的弹性系数和杨氏模量误差小于7.5%.