机译:采用多步深反应离子刻蚀工艺制造压电喷墨打印头微致动器膜的方法
Dalian University of Technology, People's Republic of China;
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Dalian University of Technology, People's Republic of China;
Dalian University of Technology, People's Republic of China;
elemental semiconductors; ink jet printing; membranes; microactuators; silicon; sputter etching;
机译:通过紫外-纳米压印光刻,深度反应离子刻蚀和原子层沉积制备的纳米穿孔硅膜
机译:残余应力对深反应离子蚀刻加工的独立式Si - 膜力学特性的影响研究
机译:一种用于LCD彩色滤光片制造的压电喷墨打印头的重新填充过程和制造方法的新方法
机译:通过非压电喷墨印刷制造的全解决方案处理的有机薄膜晶体管
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:带有喷墨印刷线路的解决方案处理的垂直堆叠互补有机电路
机译:深度反应离子蚀刻工艺制造的MEMS盘谐振器阵列复合材料的电压控制调谐倾斜度