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机译:预非晶化超浅结中硼电活化的热稳定性
LAAS/CNRS, 7 Av. du Colonel Roche, 31077 Toulouse, France;
solid phase epitaxy; ultra-shallow junctions; dopant activation; extended defects;
机译:Ge预非晶硅和SOI中固相外延再生超低能硼注入物的电激活
机译:闪光灯退火形成硼超浅结及其稳定性的实验与仿真研究
机译:Si-和Si_xGe_(1-x)超浅结注入后和高级快速热退火中硼扩散的非高斯局部密度扩散(LDD-)模型。
机译:激光热退火硼,砷,磷和锑超浅突变结的激活和失活研究
机译:超浅硼在锗中的注入和活化。
机译:导热形状记忆聚合物复合材料填充有氮化硼用于电绝缘材料
机译:Ge中超浅B + - 迁移剂的活化和热稳定性