机译:火花辅助化学雕刻加工的玻璃基板的局部硬度和密度变化(表面)
Department of Mechanical and Industrial Engineering, Concordia University, Montreal, QC, Canada H3C 1M8;
mechanical properties; spark assisted chemical engraving (sace); glass 2d-micro-machining; nano-indentation; hardness;
机译:恒速火花辅助化学雕刻(SACE)对2D玻璃微加工进行表征和建模
机译:低电阻硅衬底作为蚀刻终止层,用于通过火花辅助化学雕刻(SACE)钻制厚SiO 2 sub>
机译:低电阻硅基板作为蚀刻终止层,用于通过火花辅助化学雕刻(SACE)钻削厚的SiO_2
机译:火花辅助化学雕刻(SACE)加工-多功能的替代微加工技术
机译:SACE(火花辅助化学雕刻)技术在等速钻孔过程中的加工力研究
机译:基于机器视觉的玻璃火花辅助化学雕刻中电弧等离子体形成效应的特征
机译:在SACE中进行等速钻孔时的加工力研究:(火花辅助化学雕刻)技术