...
机译:聚焦离子束铣削和电子束光刻技术制造同轴等离子体晶体
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
College of Information Science and Engineering, Northeastern University, Shenyang U0004, China;
Coaxial apertures; Nanoholes; Nanoparticles; Ion beam technology;
机译:通过将电子束和聚焦的金离子束光刻合并用于固体和逆耦合等离子体纳米结构来定制光学功能
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:单步电子束光刻技术制备悬浮的三维手性等离子体纳米结构
机译:使用电子束光刻的聚焦衍射光学元件的光掩模制造
机译:用于全向光子晶体制造的双光束全息光刻方法的理论研究。
机译:电子束与聚焦离子束光刻技术制备的等离激元天线的比较研究
机译:蛋白石膜上的直接电子束光刻技术,用于确定性制造三维光子晶体中的缺陷
机译:聚焦离子束光刻使用meV质子束微探针进行微光学制造