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机译:基于LIf的CMP过程中浆料的可视化表征
Ultra-precision Engineering Lab, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, China;
laser induced fluorescence (LIF); chemical mechanical polishing (CMP); fluorescence ratio; polishing;
机译:有机酸基浆料中铜钝化层的化学和机械表征及其CMP性能
机译:用于微电子制造的硝酸肼基浆料中铜化学机械抛光(CMP)的表征
机译:使用红外热像仪对Cu CMP浆料进行原位表征和减少缺陷
机译:基于LIF的CMP期间,浆料的可视化表征
机译:氨和硝酸基浆料中块状和薄膜铜的电化学表征,用于互连的化学机械平面化
机译:使用光密度法和折射率测量表征CMP浆料
机译:使用密度测定法和折射率测量的CMP浆性的表征
机译:烟灰前体材料:通过同时LIF-LII可视化和通过TEm表征