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机译:氧等离子体对极紫外掩模空白板Ru覆盖层化学成分和形貌的影响
Department of Chemistry, University of California, Berkeley, California 94720;
机译:钌薄膜作为极紫外光刻掩模坯料覆盖层的特性
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机译:Ru覆盖的EUV面膜毛坯的化学耐久性研究
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:钌和银盖层对FePt超薄膜微结构和磁性能的影响
机译:氧等离子体对极紫外(EUV)掩模坯料Ru覆盖层化学组成和形貌的影响