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机译:室温下Cl_2 / BCl_3 / CH_4 / Ar / H_2中GaSb的电子回旋共振等离子体刻蚀
Department of Electrical, Computer and Systems Engineering, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, New York 12180;
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机译:通过在恒定Ar流量下循环注入CH_4 / H_2 / Ar和O_2来改善GaN电子回旋共振离子蚀刻中的蚀刻表面形态
机译:Cl_2 / CH_4 / H_2和CH_4 / H_2的InP室温电感耦合等离子体刻蚀的研究与优化
机译:Ar,Ar / Cl_2和Ar / CH_4 / H_2化学物质中RF溅射铟锌氧化物薄膜的高密度等离子体蚀刻
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