机译:新型湿蚀刻/ MeV氧离子注入法制备的脊形LiNbO $ _ {3} $波导
Sch. of Phys., Shandong Univ., Jinan, China;
Ion implantation; lithium compounds; ridge waveguide;
机译:通过新型氧离子注入/湿法刻蚀技术制造的脊状LiNbO / sub 3 /调制器
机译:湿法刻蚀和椭偏法重建3MeV O2 +离子注入MgO掺杂LiNbO3的折射率分布
机译:MeV O和硅离子注入结合湿法刻蚀在LiNbO3中进行选择性刻蚀
机译:通过氧气增强的湿热氧化制备的高折射率对比度脊形波导激光器
机译:脊形波导中红外铟镓砷锑锑量子阱激光器,采用脉冲阳极氧化刻蚀制成。
机译:干/湿蚀刻法制备的微纳米杂化结构的减反射研究
机译:粘合双SOI的硅槽翅片波导,通过各向异性湿法蚀刻技术制造的低功率累积调制器