マイクロディスプレイデバイスの最新技術と応用

摘要

マイクロディスプレイデバイスは，表示する画像を拡大して用いるおよそ1インチ以下の小型ディスプレイです.1980年代に研究開発が進み，デー夕プロジェクタ,リアプロジェクションテレビゃビデオカメラの電子ビューファインタの表示デバイスとして組込まれて製品化されました.半導体プロセスなどの微細加工で形成され，微細加工技術が進むとともにマイクロディスプレイを高精細化する技術が進歩してきました.表示方式は，液晶（透過型，反射型），有機EL,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)などがあり，それぞれの表示原理に応じてさまざまな表示システムに用いられています.