ファインバブル技術とその開発動向: 半導体洗浄，ウェ一八搬送，植物工場等

摘要

フアインバブル技術は，従来は，数十ミクロン以下の小 さい気泡直径の主に空気泡を使って，池や河川の環境浄化 や鉱山で金属を採掘する浮遊選鉱法等に利用されてきた技 術であるが,近年，注目されてきている理由は，裸眼で見えない直径1μm未満の空気のウルトラファインバブル に，微粒子や結晶の剥離•洗浄効果や，薄いシリコン ウェーハを液中でスムーズに搬送する潤滑効果などの， 種々の機能が発揮されてきていることによる。