プラズマ化学反応: 低温大気圧プラズマ中の化学反応プロセス

摘要

低温ブラズマは，室温程度の低温下で化学的に活性な粒子(ラジカル)を効率よく生成可能な化学反応場として，これまで半導体製造プロセス，材料创製，環境，照明など幅広い分野で応用されてきた。その際，この低温プラズマは，ブラズマ容器内に原料ガスを導入した後に減圧する環境下で多く生成•利用されてきたが，大気圧環境下で生バイォ分野のみならず農水食分野への応用展開の裾野を拡げる目的で精力的に研究が行われている。