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FAR-INFWED Ge:Ga PHOTOCONDUCTOR DIRECT HYBRID 2D ARRAY

机译:远距离Ge:Ga光导体直接混合二维阵列

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摘要

We are developing a 20 X 3 Ge:Ga far-infrared photoconductor array directly hybridized to a Si p-MOS readout integrated circuit (IC) using indium bump technology. We describe the design of the detector array, as well as its fabrication process and performance.
机译:我们正在开发一种20 X 3 Ge:Ga远红外光电导体阵列,该阵列使用铟凸点技术直接与Si p-MOS读出集成电路(IC)混合。我们描述了探测器阵列的设计,制造过程和性能。

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