机译:SiN膜纳米孔的孔径减小方案,使用基于纳米压印的纳米压印中的热回流
Electronics and Telecommunication Research Institute, IT Convergence Components Laboratory, Daejeon 305-700, Republic of Korea;
Electronics and Telecommunication Research Institute, IT Convergence Components Laboratory, Daejeon 305-700, Republic of Korea;
Creative Research Center for Graphene Electronics, ETRI, Daejeon 305-700, Republic of Korea;
Electronics and Telecommunication Research Institute, IT Convergence Components Laboratory, Daejeon 305-700, Republic of Korea;
nanopores; micro- and nano-fabrication; size reduction; nanoimprinting;
机译:通过结合纳米压印光刻技术和压制自完善工艺来减小尺寸的穿孔微/纳米孔膜的制造
机译:结合纳米压印光刻和分子量选择性热回流以生成混合3D结构
机译:使用剂量调制电子束光刻和热回流制造具有连续浮雕的3D纳米压印印模
机译:纳米压印术和加压自渗透法在自溶聚合物膜中制备完整的圆锥形纳米孔
机译:使用热纳米压印光刻技术的纳米结构表面:在薄膜技术,压电能量收集和触觉压力感测中的应用。
机译:由热纳米压印光刻制造的纳米电极阵列用于生物传感应用
机译:NPN / SIN X双膜腔的单片制造基于纳米孔的DNA感测