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机译:原子探针层析成像技术对锗同位素多层膜的原子尺度表征
The Oarai Center, Institute for Materials Research, Tohoku University, 2145-2 Narita, Oarai, Ibaraki 311-1313, Japan;
elemental semiconductors; germanium; interface structure; multilayers; optical tomography; secondary ion mass spectra; 6835Ct; 7920Rf; 8105Cy; 8280Ms;
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