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机译:通过氢稀释曲线在生长方向上具有结构均匀性的致密微晶硅薄膜
机译:通过氢稀释曲线获得高质量的微晶硅膜
机译:衬底温度和氢稀释:硅薄膜中非晶相到微晶相变的参数
机译:ZrO_2栅极电介质上的电感耦合等离子体化学气相沉积法制备氢化微晶硅薄膜
机译:氢稀释比和衬底粗糙度对固有微晶硅薄膜微观结构的影响
机译:在直流鞍场PECVD系统中氢化微晶硅薄膜的生长。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:通过氢稀释曲线获得高质量的微晶硅膜
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响