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机译:等离子体辅助原子层沉积法原位光谱椭偏法研究超薄TiN薄膜的生长
机译:原位光谱椭偏仪研究原子层沉积TiN薄膜的初始生长和性能
机译:SrTiO_3的等离子体辅助原子层沉积:化学椭圆和光谱法研究的化学计量和结晶度
机译:通过原子层沉积在Si(100)上生长的NiO薄膜的光谱椭圆偏振光谱研究
机译:SrTiO_3的等离子体辅助原子层沉积:化学计量和结晶度的光谱椭圆偏振法研究
机译:原子层在颗粒上沉积的原位红外光谱研究。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:等离子体辅助原子层沉积法原位光谱椭偏法研究超薄TiN薄膜的生长