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机译:低能等离子体蚀刻氢化非晶碳过程中的协同蚀刻速率
Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven,The Netherlands;
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机译:蚀刻特性氢化无定形碳与Differentsp〜2 / sp〜3杂交率Incf_4 / O_2等离子体
机译:人脐静脉内皮细胞在等离子浸没离子注入和沉积以及等离子刻蚀产生的微图案非晶氢化碳膜上的行为
机译:O原子在氢化非晶碳膜的大气等离子体蚀刻过程中的运输和表面反应性
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:用于图案转移的高精度等离子刻蚀:基于碳氟化合物的原子层刻蚀
机译:在聚酰胺6上的血浆支持沉积非晶氢化碳(A-C:H):在层生长期间确定层间完成和脱氢效应
机译:低能等离子体蚀刻氢化非晶碳过程中的协同蚀刻速率