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机译:喷淋头等离子体反应器壁边界条件对射频等离子体沉积均匀性控制的影响
Memory Thin Film Technology Team, Samsung Electronics, Hwaseong 445-701, South Korea;
Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan 609-768, South Korea;
机译:大面积莲蓬头反应器中用于射频等离子体沉积的气流均匀性研究
机译:有没有一种方法可以改善大脉冲d中TiN沉积条件的均匀性。 C。等离子CVD反应器?
机译:电容耦合等离子体反应器中气体速度和温度分布对a-Si:H膜沉积速率分布的均匀性控制
机译:射频等离子体沉积垂直流喷头反应器的膜厚控制研究
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:大型反应器的电压均匀性研究,用于射频等离子体沉积
机译:用于RF等离子体沉积的大面积反应器中的电压均匀性研究