...
机译:教程:无功大功率脉冲磁控溅射(R-HiPIMS)
Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Berkeley, California 94720, USA;
机译:透视:在反应性高功率脉冲磁控溅射(R-Hipims)期间是否存在滞后?
机译:在AR / O-2混合物中调查双磁控激动反应性高功率脉冲磁控溅射放电的等离子体参数和放电不对称
机译:通过反应高功率脉冲磁控溅射溅射MOS_X薄膜的氮掺杂
机译:通过直流反应磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射(Hipims),织地织地织地造成的ALN薄膜的生长沉积在Si(100)上沉积在Si(100)上
机译:用于薄膜晶体管应用的氧化锌的反应性大功率脉冲磁控溅射
机译:高功率脉冲磁控溅射
机译:透视:在无功高功率脉冲磁控溅射(R-HipIms)期间是否存在滞后现象?