机译:气喷等离子体化学方法沉积硅膜的实验与气动力学模拟
Kutateladze Institute of Thermophysics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences;
free jet; reactor; simulation; DSMC method; thin silicon films; electron-beam plasma; plasma-chemical deposition;
机译:通过气射等离子体化学方法沉积硅的无定形和微晶膜
机译:通过气射等离子体化学方法沉积掺杂硼和磷的硅膜
机译:通过气射电子束等离子体化学气相沉积法得到氧化气氛在氧化气氛中的影响
机译:基质温度对气-射流电子束等离子体化学气相沉积法沉积A-SI:H薄膜的光学性质和沉积速率的影响
机译:光伏用硅和氮化硅的热线化学气相沉积:实验,模拟和应用。
机译:组成界面和沉积顺序对原子层沉积在硅上生长的纳米Ta2O5-Al2O3薄膜电学性能的影响
机译:用于光伏的硅和氮化硅的热线化学气相沉积:实验,模拟和应用