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机译:使用扫描电容显微镜测量浅掺杂剂分布
Research Center for Materials Science at Extreme Conditions, Osaka University, 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan;
shallow dopant profile; scanning capacitance microscope (SCM); shallow trench isolation (STI); spatial resolution;
机译:电子全息图和扫描电容显微镜法测量二维掺杂物分布
机译:通过扫描电容显微镜测量二维掺杂物分布
机译:通过扫描电容显微镜测量二维掺杂物分布
机译:使用扫描电容显微镜测量浅掺杂剂分布
机译:通过扫描电容显微镜对二维掺杂物进行分析。
机译:使用扫描微波显微镜进行可追踪纳米级电容测量的进展
机译:界面状态和光电效应对p-n结掺杂物分布的扫描电容显微镜测量的实验研究