机译:基于氟掺入通道的基于f的高κ栅堆叠系统阈值电压控制及其对短通道特性的影响
Center for Semiconductor Research and Development, Toshiba Corporation Semiconductor Company, 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama 235-8522, Japan;
MOSFET; high-κ; HfSiON; threshold voltage; fluorine; channel; buried channel;
机译:含氟缺陷钝化和接口工程,用于基于for的高k $ /金属栅堆叠设备的可靠性和性能增强
机译:用于阈值电压控制的具有稀土氧化物层的Hf基栅介电叠层的高温稳定性
机译:硅栅极微结构和栅极氧化物工艺对掺氟的p / sup +/-栅极p沟道MOSFET中阈值电压不稳定性的影响
机译:Quantum限制效应在短通道门 - 全面MOSFET中的影响及其对工艺变化的阈值电压的灵敏度的影响
机译:机械应力对硅和锗金属氧化物半导体器件的影响:沟道迁移率,栅极隧穿电流,阈值电压和栅极堆叠
机译:磷脂酰肌醇-45-双磷酸酯(PIP2)控制KCNQ1 / KCNE1电压门控钾通道:电压门控和内向整流器K +通道之间的功能同源性
机译:硅锗(SiGe)衬底上带有应变硅(s-Si)沟道的短沟道双材料栅极(DMG)MOSFET阈值电压的分析模型