机译:用三种不同类型的射频磁控溅射系统制备的氟碳薄膜的气体吸附特性
Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kakumamachi, Kanazawa 920-1167, Japan;
rnGraduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kakumamachi, Kanazawa 920-1167, Japan;
rnGraduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kakumamachi, Kanazawa 920-1167, Japan;
rnNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan;
机译:氟碳聚合物薄膜是通过三种不同的r.f.磁控溅射系统
机译:通过不平衡磁控溅射制备的BI(X)SI(Y)O(Z)薄膜的结构和形态学特性磁控溅射平衡)
机译:磁控溅射制备氟碳聚合物薄膜的摩擦和粘附性能
机译:使用N2 / AR溅射气体混合物通过RF磁控溅射制备的ALNX薄膜的介电性能
机译:射频磁控溅射未掺杂镧锰矿薄膜的结构,磁性和表面特性。
机译:射频磁控溅射制备铁氧体石榴石(BiLuY)3(FeGa)5O12薄膜材料的性能
机译:无定形SnO2:TA薄膜的电气和光学性质,由DC和RF磁控溅射制备:对反应气体类型的影响进行系统研究