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机译:大剂量化学放大的极端抗紫外线剂的曝光中线边缘粗糙度的下限
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan;
机译:化学放大极紫外光抗蚀剂的化学梯度与线边缘粗糙度之间的关系
机译:用于极端紫外线型抗蚀剂的线边缘粗糙度中分辨率模糊和射击噪声的关系
机译:极紫外光刻中使用的化学放大抗蚀剂的线条边缘粗糙度形成中分辨率模糊和散粒噪声之间的关系
机译:暴露于极紫外辐射下的化学放大的抗蚀剂中的溶解动力学和脱保护反应
机译:极紫外光刻中掩模的粗糙度引起的线边缘粗糙度
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:保护单位初始分散对化学扩增极紫外线抗蚀剂线边缘粗糙度的影响