机译:CF_2自由基刻蚀SiO_2的化学反应动力学:紧密结合的量子化学分子动力学模拟
Fracture and Reliability Research Institute (FRRI), Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Fracture and Reliability Research Institute (FRRI), Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
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Fracture and Reliability Research Institute (FRRI), Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Institute of Fluid Science, Tohoku University, Sendai 980-8577, Japan;
Fracture and Reliability Research Institute (FRRI), Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
机译:紧密结合的量子化学分子动力学模拟,用于阐明SF6 / O-2等离子体SiC蚀刻中的化学反应动力学
机译:紧密结合的量子化学分子动力学模拟,用于阐明SF6 / O-2等离子体SiC蚀刻中的化学反应动力学
机译:CF2和CF3自由基的SiO2蚀刻过程机理的紧密结合量子化学分子动力学模拟
机译:水的化学反应对氢形成动力学的大型量子化学动力学模拟
机译:在液体/蒸气和液体/液体界面的化学反应的分子动力学模拟。
机译:从头开始的量子力学方法与经典Drude振荡器极化模型的接口用于化学反应的分子动力学模拟
机译:第一原理分子动力学和紧密结合量子化学分子动力学模拟摩尼密碳动力学和低摩擦机制
机译:反应集合分子动力学:化学反应混合物动态平衡特性的直接模拟