Cryo FIB-SEMを利用したエマルションの断面観察

摘要

FIB-SEM複合装置に試料冷却ステージを装着するrnことにより（Cryo FIB-SEM），FIB加工中のイオンrnビームやSEM観察中の電子線による試料ダメージがrn軽減できるだけでなく，常温では観察不可能な液体試rn料の凍結断面観察が可能となる．