多孔体材料の微細構造観察とアルゴンイオンビームを用いた試料作製

摘要

絶縁体であるシリカメソ多孔体は，チャージアップrnの影響が顕著であり，通常そのHRSEM観察は容易rnではない．近年開発された減速法（陰極レンズ方式）rnは，高い加速電圧を保ったまま，試料ステージに負のrnバイアス電圧を掛けることにより，試料への入射エネrnルギーを低くする手法である．