コヒーレントⅩ線回折顕微法の開発とその将来展望:Ⅹ線構造解析の究極を目指して

摘要

材料科学において願徴鏡は，材料組織を観察し，その特性rnを理解するためり欠かせないツールとして定着していることrnは言うまでもない．特に原子分解能を実現している電子顕微rn鏡が，材料科学に果たしてきた役割は大きい．一方で，Ⅹrn線頗徴鏡は，その空間分解能の面で電子顕微鏡に大きな遅れrnをとってきた．その理由の一つが，Ⅹ線は電子線のようにrn容易にその進行方向を曲げることができない，すなわち，優rnれたレンズを作製することが困難であることに起因していrnる．