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机译:考虑刻蚀作为制造公差因子的解耦振动微型陀螺仪的鲁棒设计
MEMS fabrication tolerance; over-etching; decoupled vibratory microgy- roscope; robust design; optimization;
机译:考虑过度刻蚀作为制造公差因子的解耦振动陀螺仪的鲁棒设计
机译:存在最坏过程公差的结构解耦3自由度MEMS陀螺仪的设计和稳定性分析
机译:存在最坏过程公差的结构解耦3自由度MEMS陀螺仪的设计和稳定性分析
机译:考虑微型制备误差的调谐叉振动微仪设计的鲁棒设计
机译:喷气推进实验室振动速率微型陀螺仪的建模和识别。
机译:具有匹配模式的新型全解耦三轴线性振动陀螺仪的设计与分析
机译:一种新型匹配模式全解耦三轴线性振动陀螺仪的设计与分析