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机译:基于LTCC的微流体质量流量传感器概念
Engineering Substrate, Micro Systems Engineering GmbH, 95180 Berg, Germany;
Engineering Substrate, Micro Systems Engineering GmbH, 95180 Berg, Germany;
Department for Microsystems Technology, Institute of Sensor and Actua- tor Systems, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria;
Department for Microsystems Technology, Institute of Sensor and Actua- tor Systems, Vienna University of Technology, 1040 Vienna, Austria;
LTCC; micro fluidic sensor; 3D structuring; harsh environment; integration;
机译:新型冷化学层压粘合技术-基于LTCC热敏电阻的简单流量传感器
机译:基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术的微型生物启发式光学流量传感器
机译:基于MEMS的热质量流量传感器的开发,具有高灵敏度和宽流量范围
机译:气体质量流量传感器空间梭子轨道流量测量概念测试证明
机译:亲和质量传感器:概念和应用。
机译:基于静电和电容传感器的固体颗粒速度浓度和质量流量测量综合仪器系统
机译:基于微科里奥利流量传感器的紧凑型质量流量计