基于LTCC的新型高灵敏度陶瓷压力传感器的研制

摘要

本文提出了一种基于电容敏感机理的新型低温共烧陶瓷(LTCC)压力传感器.与传统制备工艺相比,由于4J33铁-镍-钴合金的使用,这种新型制备方法不仅可以避免压敏腔体的塌陷,而且还能对传感器的性能起到改善作用.结果表明,相同压力下,该传感器敏感膜的形变更小,所以有更高的响应度.并且在0 kPa～100 kPa的压力范围内,灵敏度可达13 kHz/kPa.不仅如此,压力传感器的重复性误差,磁滞误差和非线性都表现出非常好的性能,分别约为4.30％,2.21％和1.80％.