窒化物半導体トランジスタへの期待と将来展望

摘要

窒化物半導体ヘテロ接合を用いた電界効果トランジスタが，ワイヤレス通信用の送信増幅器や電力変換用スイッチング回路の次世代キーデバイスとして大きな期待を集めている．本論文では，窒化物半導体材料 の特徴とそのヘテロ接合を用いたデバイスの動作原理を解説した後，これまでに達成されたトランジスタの最高 性能のいくつかを紹介する．また，現在の窒化物半導体トランジスタが直面する技術課選を総括し，その対策に ついて論じる．最後に，窒化物半導体トランジスタの新しい展開と期待について，デバイスと回路の両面から論じる．