受信側高トレランス光結合のためのろうと型自己形成光ロッド

摘要

光インタコネクション普及のためには，光デバイス-光配線間の高効率かつ低コスト接続技術の確rn立が必要となる．今回我々は受信側（PD）の光結合に注目した．PDの受光面積は応答速度高速化により減少すrnるため，高いアライメント精度が要求される．PD-光配線間の高効率光結合のため，ろうと型自己形成光ロッドrnによる光結合を提案した．マイクロレンズ転写法の使用により製作した本デバイスの形状及び光結合特性についrnて報告する．