光集積回路用低損失inp光導波路の検討

摘要

光送信器用光集積回路を実現する，低損失InP系光導波路構造として，リブ装荷埋込構造の検討をrn行った．縦方向の光閉込めを強化する一方で，比屈折率差の調整を行いシングルモード性を確保しながらも低損rn失光導波路構造を実現するための設計方針を検討した．最小曲率2mmにおいて曲げ導波路損0.1dB/90度の光rn導波路を実現し，半導体光集積回路に導入することで挿入損2dB以下の半導体AWGフィルタを実現した．こrnの導波路構造は表面が平たんであるため，多様な光集積回路への応用が可能である．