標準CMOS集積回路による電子線検出

亀谷 祐輔; 宇野 重康; 中里 和郎

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標準CMOS集積回路による電子線検出

机译：通过标准CMOS集成电路进行电子束检测

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CMOS集積回路を用いた新しい電子線検出器を提案する.電子線を配線層で受け,電荷を別のキャパシタに転送して検出する.回路解析から時定数を導出し,回路パラメータを決定する方法を提案する.走査型電子顕微鏡の電子線源を用いた電子線照射実験を行い,電子線電流量に比例する出力信号を確認した.

机译：提出了一种新型的采用CMOS集成电路的电子束检测器，电子束被布线层接收，电荷被转移到另一个电容器中进行检测，通过电路分析得出时间常数并确定电路参数。我们使用扫描电子显微镜的电子束源进行了电子束照射实验，并确认了与电子束电流量成正比的输出信号。

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来源
《電子情報通信学会論文誌》 |2010年第12期|p.664-669|共6页
作者
亀谷祐輔; 宇野重康; 中里和郎;
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作者单位

名古屋大学大学院工学研究科,名古屋市;

名古屋大学大学院工学研究科,名古屋市;

名古屋大学大学院工学研究科,名古屋市;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类
关键词
電子線検出; cmosセンサ;

机译：电子束检测;CMOS传感器;

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