ナノインプリントを用いたポリマー導波路型波長フィルターの作製と評価

摘要

我々はコア材料にSU－8、クラッド材料にPMGIとし、ポリマー導波路型波長フィルターを作製、そして、その特性評価を行った。素子作製の際、3次元モールドを用い、一括ナノインプリントを用いることでナノ構造を有するグレーティング部分とマイクロ構造を有する導波路部分を一度に作製した。その結果、偏光無依存、1570nm帯域においてコントラスト40dBの素子が実現された。また、結合損失を含む挿入損失が12dBであることが確認された。%We demonstrated polymer waveguide Bragg grating filter by one-step nanoimprint using 3dimentional mold mask. As core and clad material, we selected SU-8 and PMGI respectively. The fabricated filter device provided transmission contrast of 40dB near the expected peak wavelength and showed polarization independent characteristics.