紫外纳米压印技术制备有机聚合物光波导放大器的方法

摘要

本发明属于聚合物光波导放大器制备技术领域，具体涉及采用紫外纳米压印技术制备有机聚合物柔性光波导放大器的方法。其是在高精度的、带有凸起波导图案的Si或聚合物模板上旋涂聚合物下包层材料，紫外纳米压印固化，再以得到的带有聚合物凹槽的薄膜为衬底，旋涂可溶性配合物材料芯层材料，然后进行真空烘干；再旋涂聚合物上包层材料，紫外固化后得到本发明所述的聚合物波导放大器。本发明的器件及其制作方法不仅容易控制聚合物芯层和包层材料的折射率差，而且容易控制每一层材料的厚度；器件成本低，成品率高，精度高，适合大批量生产。