対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討

摘要

On-chip analog RF circuits are measured using GSG probes by contacting them onto pads. Electromagnetic simulation modeling including pads is sometimes necessary. Electromagnetic simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit is investigated in this report. Excitation is modeled by voltage source between the ground and signal pads. Simulated results agreed very well with the measured ones. It is obtained from the simulated result that the effect of misalignment of probes is negligible.%オンチップアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。本稿では対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングについて検討する。今回検討する対称性を有する被測定回路は左右のパッド中心を結ぶ線を含む垂直面に関して対称な構造をしていると仮定する。励振部はパッドのグランドーシグナル間電圧源励振モデルを用いた。パッド部を含めて、電磁界解析結果は測定結果とよく一致した。電磁界シミュレーションでプローブの位置ずれの影響を検討し、影響は非常に小さいことがわかった。