非冷却ボロメータ型フォーカルプレンアレイによるテラへルツカメラとその応用

摘要

画素数320X240-画素ピッチ23.5μmのボロ メータ型フォーカルプレンアレイを搭載した非冷却テラヘルツ(THz)カメラとその応用について述べる.同センサ自体は，波長3μmから約200μmまでほぼ平らなNEP(雑音等価パワー）の特性を示し，200μm以上から感度が悪くなり始める.同センサを搭載した手のひらサイズTHzカメラは30Hzのフレームレートで動作し，ロックインイメージング機能を搭載している.同機能と信号処理機能(フレーム積分とSpatial filter)を組合せることにより，場合により1桁の信号雑音比の向上が可能となる.最後に，同カメラで取得した様々なTHz光源のビームパターン等を紹介する.%The author describes uncooled THz camera which incorporates bolometer-type 320x240 THz focal plane array (FPA) with 23.5 11 m pitch. THz-FPA itself has fairy flat wavelength dependence of noise equivalent power (NEP) from 3 μm to ca. 200μm and NEP (Noise Equivalent Power) starts to degrade beyond 200μm. The THz camera operates at 30 Hz and has lock-in imaging feature which can further increase signal-to-noise ratio, in some case by one order of magnitude, in combination with signal processing, such as frame integration and spatial filter. Finally, the author presents beam-patterns of THz sources obtained with the THz camera.